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第24章 关于这个问题,我在这里告诉大家:是的,EUV已经成功下线!

第24章 关于这个问题,我在这里告诉大家:是的,EUV已经成功下线! (第1/2页)

“老师,又有什么安排了?”
  
  中国南方地区,某处晶圆工厂,周晓晨和他的学生李坤正在忙活着。
  
  “行业峰会那边,我们公司准备接下和白驹科技的一个合作项目。”周晓晨说道:“这几天我们要进行一系列的方案评估。”
  
  “什么方案,有关光刻机的吗?”
  
  “不是,碳硅融合半导体,光刻应该是小部分,大部分应该是以半导体硅为基础进行碳纳米管安置这个动作。最终的目标,是在晶圆基础上生成高纯度、高密度的单臂碳纳米管。”
  
  周晓晨说道:“最近,你的学习方向需要改变一下,多关注化学气相沉积CVD方案的碳纳米管生长,尤其是,怎么通过基地图案控制生长位置这个课题相关的公开论文和资料,一定要多加关注。”
  
  “这也太难了吧?”
  
  单臂碳纳米管这东西,不是一个新概念,而且,在白驹科技在发布会上提过碳硅融合半导体之后,几乎所有行业内的人,都重新考虑了这个东西实现的可能性。
  
  因为现在虽然有相关理论,但是,当前就只能做到以半导体为主,碳纳米管辅助多层芯片联系,是做不到高密度,更别说还是立体的高密度碳纳米管在晶圆半导体里的特定生长的。
  
  “难?那你觉得,我们搞EUV光刻机难不难?”周晓晨问了这么一句话:“机会必须要抓住!”
  
  这次的行业峰会,白驹科技公开了他们的乙级合作项目。
  
  其中,最重要的两块儿内容,一个是立体立体五感通信网络,另一个就是碳硅融合半导体制造这一条线上的上下游。
  
  碳硅融合半导体的相关研究,目前确定的是华为和沪上微电子、白驹科技三方共同研究。
  
  而周晓晨,是沪上微电子装备的少壮派,系统微环境工程师。
  
  当前,他的主要工作就是光刻机和晶圆产线中复杂微环境分系统的建模、仿真、分析。
  
  微环境系统这个东西,它是涉及力学、热能工程、环境工程、建筑环境与设备、机械设计及自动化、控制工程、机电工程、信息工程等非常多的学科,同时也是一个融合性的一个系统工程。
  
  这个系统有多复杂?
  
  这么说吧,我国的光刻机,尤其是EUV光刻机,量产一次又一次的跳票,30%是因为部分精尖端的零部件,比如光源系统、物镜系统等,但至少一半原因,是因为微环境系统的问题。
  
  换句话说,同样的零部件、甚至同样的机器,在不同的地方,不同的人来进行组装维护,那最终所呈现的效果甚至可以完全不同。
  
  差之毫厘,谬以千里,是精密制造最真实的写照。
  
  就拿芯片制造来说,有时候0.1摄氏度的温度差别,可能就会导致20%的良率下降。
  
  但,这种细微的问题如何发现?如何解决?融合诸多学科的微环境建模,然后反馈生产系统进行拟合调节。
  
  而周晓晨,在EUV光刻机和晶圆产线这个领域,他并不突出。
  
  别说全世界,世界上最优秀的芯片产业微环境工程师肯定在阿斯麦和台积电,就算是国内,他也只是第二梯队的。
  
  这事儿难不难?
  
  不难?沪上微电子做这件事儿,至少5年以上了,截止到几个月前,进度还非常堪忧。
  
  难?
  
  看着现在的生产数据参数,周晓晨是说不出这个话的——当前,这条产线等效台积电N4P制程工艺的良率已经达到了75%,就在前两天,小组还在评估尝试下一个工艺节点的事情。
  
  N4P,实际晶圆密度当然达不到4nm,现在大家都是以等效来论的,而南部工厂这边,也是采用和台积电同样的标准,以便于进行相关的对比。
  
  N4P这个工艺,是台积电21年10月宣布的,但到现在24年1月,三年半的时间过去了,它现在的良率依然也就在哎75%左右。
  
  而在小沙的帮助下,周晓晨仅仅用了一个月就达到了这个成果。
  
  这意味着什么?对比对比另一家就很明显了,三星同样的工艺,从25%的良率提升到60%就足足调试了一年。
  
  “所以,李坤,你明白了吗?难不难不重要,只要我们有方向,再加上小沙,那一步一步的往下突破,迟早所有问题就都能解决。”
  
  周晓晨笑道:“这也是数字分身和外置记忆独有的优势。”
  
  李坤知道,老师在解决问题的基础上,也在试图改变他的思想。
  
  白驹科技的数字分身服务,已经开启了近一个月了,直到现在,依然有很多人不理解:为什么不直接把世界上所有的知识都存到我的外置记忆的数字分身里呢?
  
  李坤起初也是这么想的,当时周晓晨就告诉他:我,在小沙的帮助下可以很快的做到EUV的N4乃至N3级别的量产,但是你不行。
  
  ——原本你会的,却忘了,那外置记忆可以帮你回忆,但原本你若是就不会,放进去也没有用。
  
  关于这个问题,在数字分身发布的那天,俩人争论的还不轻。
  
  当时,李坤是不怎么理解的,但是经历了这么些天,也经历了EUV光刻机的晶圆产线每天发生的翻天覆地的变化,他才对这东西有了最本质的理解——强者恒强!
  
  他老师可以利用小沙,短短一个月搞出N4P。而他也可以用小沙,但,最多就只能搞定14。
  
  “这就是数据和人的同步,”周晓晨太佩服这种看似毫不相关,实则面面俱到的映射理念了:“行了,明天开始,咱们进入下一阶段的工作。
  
  “后续,根据工作安排,去调试碳硅半导体的设备,不过这个估计需要一点时间了。”
  
  李坤点了点头表示明白,微环境系统以及相关的调试工作都是到最后的,而下一个阶段节点调试,才是近期工作的安排。
  
  下一个节点是台积电等效3nm,这边的预期参数直接对标的是N3P,预计调整周期45天。
  
  周晓晨已经去准备下一阶段所需要的数据和材料了,而李坤却在考虑另外一个问题:“新的碳硅半导体融合,是不是我的机会呢?实力还是不太够!”
  
  李坤从来都不是一个老实本分的人,这个时候,他还在想,共享数字分身的事情。
  
  如果这个问题解决了,那自己岂不是就不用一天一天的学习知识和积累经验了?
  
  “我的数字分身和我是有一个映射关系,而老师的数字分身和老师有一个映射关系。而两个数字分身,其实都是二进制数据,老师的数据我不能直接用,是因为我不懂,但,有没有一种方法,去做一个转换呢?”
  
  一开始,李坤压根就没理解数字分身的意义和其中的奥妙,所以也没有想过类似的问题。
  
  但现在……
  
  他摇了摇头,这样也是行不通的,即便能转换成和自己数字分身一样的“格式”,自己不懂的东西,也还是无法直接理解。
  
  但是,这样是不是能方便自己的学习和理解,然后更快的掌握自己原本不了解的内容和知识呢?
  
  “小沙小沙,这样能行吗?”
  
  ……
  
  临州这边,芯片行业峰会的场外发布会已经在进行了。
  
  郝成先是介绍了峰会的情况,并公布了乙级的合作课题以及相应的合作伙伴清单。
  
  “郝总,我有一个问题,刚刚一直在听您说,新型的碳硅半导体芯片的后续研发和合作项目。有一个问题,大家都非常关心,那就是,这样的芯片相比于传统芯片,它有什么样的优势呢?
  
  “我们知道,小沙的能力已经非常强了,甚至,很多人认为,它已经没有了上升和提高的空间,那么,这样芯片带给小沙更好的成长,甚至让我们去幻想,很多人都不知道该往哪儿想,郝总能够帮助我解答一下这个问题吗?”
  
  

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